在光學(xué)精密加工領(lǐng)域,微納結(jié)構(gòu)元件的三維形貌檢測是保障器件性能的重要環(huán)節(jié)。以微透鏡陣列、衍射光學(xué)元件為代表的精密光學(xué)元件,其特征尺寸已突破亞微米量級(jí),對表面輪廓精度與結(jié)構(gòu)面形誤差的檢測要求達(dá)到納米級(jí)分辨率。若加工過程中產(chǎn)生的邊緣塌陷、周期畸變...
一、基本原理相關(guān)問題1.激光干涉儀的工作原理是什么?-激光干涉儀主要是基于光的干涉原理。它通常使用氦-氖(He-Ne)激光器等作為光源,發(fā)出單一頻率的相干光。這束光被分光鏡分為兩束,一束作為參考光,另一束作為測量光。當(dāng)測量光遇到被測物體發(fā)生...
原理與操作類-工作原理是什么:觸針式接觸測量原理,將很尖的觸針垂直安置在被測表面上作橫向移動(dòng),觸針隨被測表面輪廓起伏,其微小位移通過電路轉(zhuǎn)換、放大和運(yùn)算處理,得到表面粗糙度和輪廓參數(shù)值。-如何進(jìn)行測量操作:先將被測工件穩(wěn)固放置在工作臺(tái)上,然...
1、工作原理方面-激光跟蹤儀主要是通過發(fā)射激光束來跟蹤目標(biāo)。它有一個(gè)高精度的角度編碼器,能夠精確測量儀器的水平角和垂直角。同時(shí),激光干涉測量系統(tǒng)可以測量從儀器到目標(biāo)反射鏡的距離。當(dāng)目標(biāo)反射鏡移動(dòng)時(shí),激光跟蹤儀通過不斷地測量角度和距離的變化,...
原理相關(guān)1、白光干涉儀的基本原理是什么:白光干涉儀的基本原理是利用光學(xué)干涉原理。光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡分成兩束,一束光經(jīng)被測表面反射回來,另一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉。由于兩束光相互干涉,在CCD相機(jī)感光...
影像儀是一種用于測量和檢測物體尺寸、形狀等多種特性的精密儀器。以下是關(guān)于影像儀的常見問題及回答:一、影像儀的工作原理是什么?影像儀主要是利用光學(xué)成像系統(tǒng)將物體的輪廓、表面特征等形成光學(xué)影像,然后通過CCD(電荷耦合器件)相機(jī)或者CMOS(互...
閃測儀是一種高精度的光學(xué)測量儀器,以下是一些關(guān)于閃測儀常見的問題及回答:一、閃測儀的工作原理是什么?閃測儀主要基于光學(xué)成像原理。它通過高分辨率的相機(jī)和特殊的光學(xué)系統(tǒng)對目標(biāo)物體進(jìn)行拍照。當(dāng)光線照射到被測物體表面時(shí),相機(jī)捕捉物體的輪廓和細(xì)節(jié)特征...
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