在光學(xué)精密加工領(lǐng)域,微納結(jié)構(gòu)元件的三維形貌檢測是保障器件性能的重要環(huán)節(jié)。以微透鏡陣列、衍射光學(xué)元件為代表的精密光學(xué)元件,其特征尺寸已突破亞微米量級,對表面輪廓精度與結(jié)構(gòu)面形誤差的檢測要求達(dá)到納米級分辨率。若加工過程中產(chǎn)生的邊緣塌陷、周期畸變...
“摩擦,摩擦,在這光滑的地上摩擦…..”還記得龐麥郎的一首《我的滑板鞋》風(fēng)靡大街小巷,廣場上卷起了一股溜滑板鞋的浪潮。爾今浪潮已退,但摩擦聲卻未消失,作為一柄對社會發(fā)展起著雙ren劍作用的武器,各大高校和科研機構(gòu)一直都在對摩擦學(xué)進行著持續(xù)的...
隨著中國精密加工技術(shù)的高速發(fā)展,人們對加工零部件要求越來越復(fù)雜化和精細(xì)化。因五軸機床對相對傳統(tǒng)的三軸數(shù)控機床增加了兩個回轉(zhuǎn)軸,更適用于復(fù)雜空間曲面零部件的加工,如今五軸機床在中國企業(yè)大量使用?;剞D(zhuǎn)軸的精度直接影響到五軸機床的整體加工精度?;?..
引言:光學(xué),一門古老又現(xiàn)代的學(xué)科,伽利略借助光學(xué)望遠(yuǎn)鏡,研究了天體運動;生物學(xué)家借助光學(xué)顯微鏡,觀察到了細(xì)胞結(jié)構(gòu);人類借助相機鏡頭,留住了無數(shù)難忘的瞬間。光,無可觸摸,卻又無處不在,借助光學(xué),我們能直接感受和探索未知的世界,而作為光的載體,...
引言:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是一個點石成金的行業(yè),將從普通的石英砂中提取的硅原料制成擁有現(xiàn)代工業(yè)系統(tǒng)“心臟”之稱的IC芯片,中間須歷經(jīng)數(shù)十上百道工序,從硅晶圓的制備到晶圓IC的制造,每一步都對工藝流程的質(zhì)量有著嚴(yán)格的管控要求,由各式各樣的檢測儀器共同組...
傳統(tǒng)的粗糙度評定為二維參數(shù)評定,評定的時候在一條線上進行評定,不能夠完整地反映整個表面的全部信息,越來越不能滿足加工行業(yè)的發(fā)展需要。表面形貌的三維評定方法是利用區(qū)域表面獲得所需要的相關(guān)信息,給出表面形成機理信息和研究表面的直觀圖像,三維評定...
激光切割機可對多種金屬或非金屬零部件等小型工件進行精密切割或微孔加工,具有切割精度高、速度快、熱影響小等優(yōu)點。別是對于高硬度、高脆性及高熔點的各種材料精細(xì)加工,激光切割相較于傳統(tǒng)接觸式切削加工具有突出的優(yōu)勢。如今3C電子行業(yè)發(fā)展迅猛,激光切...
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