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SuperViewW國產(chǎn)白光干涉三維形貌儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW白光干涉三維形貌輪廓儀納米級分辨率，非接觸式測量各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SuperViewW1白光干涉三維表面測量系統(tǒng)以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。它集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

中圖儀器國產(chǎn)白光干涉儀品牌產(chǎn)品不通倍率的鏡頭，適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。儀器外殼與內(nèi)部運動機構(gòu)采用了分離式設(shè)計，有效隔離了聲波振動的傳導(dǎo)；外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)，可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動噪聲。

SuperViewW系列白光干涉三維形貌儀輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理，特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

SuperViewW白光干涉表面形貌3D測量儀利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細表面輪廓測量儀器，主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。