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中圖儀器SuperViewW系列0.1nm分辨率白光干涉光學(xué)輪廓儀能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，主要用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測量。

中圖儀器SuperViewW光學(xué)3D輪廓儀粗糙度在線檢測設(shè)備基于白光干涉原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，以3D非接觸方式測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SuperViewW廣東光學(xué)3D輪廓儀表面粗糙度檢測儀器基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸?？蓪?duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

中圖儀器SuperViewW多模式三維光學(xué)輪廓儀提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測量功能和自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區(qū)域測量功能。它基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

中圖儀器SuperViewW3d高倍光學(xué)輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

中圖儀器SuperViewW1國產(chǎn)3D三維光學(xué)表面輪廓儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測量儀器。主要用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測量。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。