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隨著白光干涉測量技術(shù)的發(fā)展和完善，白光干涉儀已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域，中圖的光學(xué)式表面粗糙度輪廓儀可以提供更高精度的檢測需求。

中圖SuperView W1 3d光學(xué)輪廓儀檢測儀器設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng)。通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮孑喞獌x。各類干涉物鏡還決定了系統(tǒng)很多關(guān)鍵性能，如光學(xué)分辨率，工作距離，齊焦距離，坡度能力，視場范圍等等。中圖儀器提供豐富的各類物鏡選擇，以滿足最挑戰(zhàn)的測試需求。

SuperView W3 非接觸光學(xué)輪廓儀可對測試樣品的表面微納形貌特征進(jìn)行測量和分析，具有測量準(zhǔn)確度高、應(yīng)用范圍廣、智能化水平高等特點(diǎn)。產(chǎn)品經(jīng)深圳市計(jì)量質(zhì)量檢測研究院計(jì)量校準(zhǔn)，技術(shù)指標(biāo)參數(shù)滿足相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。

中圖儀器光學(xué)3d表面輪廓儀能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測，不管是光滑或粗糙、平面或異形結(jié)構(gòu)，當(dāng)測量超出適配鏡頭下的單視場區(qū)域時，都可以采用自動拼接，根據(jù)不同表面特點(diǎn)進(jìn)行重建算法的切換，無論何種形貌，都可生成“天衣無縫”的3D全景。

3D形貌地圖配合色譜圖，非常直觀；但橫向測試范圍，縱向高度尺度也很關(guān)鍵。中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1光學(xué)3d輪廓儀用于測量精密工件的微納米三維形貌一鍵測量，自動拼接功能能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量。

中圖儀器SuperView W1光學(xué)輪廓儀是一款以白光干涉技術(shù)為原理，用于進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。對工件表面進(jìn)行非接觸式掃描同時建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件的數(shù)據(jù)處理與分析，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面微納米三維形貌的一鍵測量。