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VT6000材料共聚焦顯微鏡具備一體化操作的測量與分析軟件，預先設置好配置參數(shù)再進行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能；廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。

中圖儀器VT6000系列3D共焦顯微鏡設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能，以及自動拼接功能，能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量?？蓮V泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。

SuperViewW1白光干涉儀品牌是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

VT6000系列3D激光共聚焦顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。它是以共聚焦技術為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

中圖儀器VT6000系列3D激光共聚焦形貌顯微鏡結(jié)構簡單：儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成，控制單元集成在設備主機之內(nèi)，亦可采用筆記本電腦驅(qū)動，實現(xiàn)了“拎著走”的便攜式設計；是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。

中圖儀器VT6000激光共聚焦顯微技術以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量，是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。